氣體流量計/質量控制器 型號:QX05-D07-9E
1
流量規格
( 0~20,30,50,100,150,200,250) SLM
2
準確度
±2 % F.S
3
線性
±1 % F.S
4
重復精度
±0.2 % F.S
氣體流量計/質量控制器 型號:QX05-D07-9E
5
響應時間
(1 ~ 4) sec
6
工作壓差范圍
20 , 30 SLM: (0.05 ~ 0.30) MPa （7.3~43.5 psid）
50,150 SLM: (0.10 ~ 0.30) MPa （14.5~43.5 psid）
200,250 SLM: (0.15 ~ 0.30) MPa （21.8~43.5 psid）
7
耐壓
3 MPa （435.1 psig）
8
工作環境溫度
5 ℃ ~ 45 ℃
9
輸入輸出信號
0 V ~ +5.00 V
(輸入阻抗大于100K, 輸出電流不大于3mA)
10
電源
+15 V 50 mA
-15V 400 mA
11
外形尺寸
見圖4
12
重量
2.6 kg
0-20SLM
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